SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) S…

화공안전기술사 제138회(2026년) 3교시 3-5번 · 25점

SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) S6에 제시된 등가방출농도(ERC, Equivalent Release Concentration) 개념을 설명하고, 아래의 조건에서 화재·폭발 위험 여부를 판단하시오. • SEMI S6 실험 결과 육불화황(SF6)의 농도 : 150 ppm • 상대 비교 가스 : 수소(H2)